SEC/GEM の

SECS/GEMは、半導体業界の装置とホスト間のデータ通信用の装置インターフェイス プロトコルです。これは、さまざまなメーカーのプロセス装置 (エッチング、堆積、研磨、洗浄など) と工場ホスト間の通信を容易にするメッセージング標準です。自動化された工場では、インターフェイスによって装置処理の開始と停止、測定データの収集、変数の変更、製品のレシピの選択を行うことができます。SECS ( SEMI装置通信標準)/GEM (汎用装置モデル) 標準は、これらすべてを定義された方法で実行します。

SEMI（国際半導体製造装置材料協会）^[1]によって開発されたこの規格は、機器の動作と通信機能の共通セットを定義しています。

製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM) 標準は、非営利団体 Semiconductor Equipment and Materials International ( SEMI ) によって管理および公開されています。一般的に、SECS/GEM標準は、工場ソフトウェアが製造装置を制御および監視できるようにするためのメッセージ、ステート マシン、およびシナリオを定義します。

GEM 規格は正式には SEMI 規格 E30 と指定され、そのように呼ばれていますが、単に GEM または SECS/GEM 規格と呼ばれることもよくあります。GEM は、「半導体デバイス製造業者の製造自動化プログラムをサポートする機能と柔軟性を提供する、共通の装置動作および通信機能のセット」を定義することにより、「デバイス製造業者と装置サプライヤの両方に経済的利益をもたらす」ことを目的としています [SEMI E30、1.3]。GEM はSECS-II規格、SEMI 規格 E5 の実装です。半導体 (フロントエンドとバックエンド)、表面実装技術、電子アセンブリ、太陽光発電、フラットパネルディスプレイなどの業界の多くの装置製造業者は、工場のホストソフトウェアが監視や制御の目的でマシンと通信できるように、SECS/GEM インターフェイスを提供しています。GEM 規格は半導体固有の機能をほとんど含まずに記述されているため、あらゆる業界のほぼすべての自動化製造装置に適用できます。

GEM 準拠の製造装置はすべて、一貫したインターフェイスと一定の一貫した動作を共有しています。GEM 装置は、TCP/IP (HSMS標準、SEMI E37 を使用) または RS-232 ベースのプロトコル (SECS-I 標準、SEMI E4 を使用) のいずれかを使用して、GEM 対応ホストと通信できます。多くの場合、両方のプロトコルがサポートされています。各装置は、GEM によって指定された共通の SECS-II メッセージ セットを使用して監視および制御できます。

GEM 標準とその機能を参照する追加の SEMI 標準と工場仕様が多数あります。これらの追加の標準は、業界固有または機器タイプ固有です。次にいくつかの例を示します。

半導体前工程

半導体前工程産業は、SEMI 標準 E40、E87、E90、E94、E116 を含み、E39 標準を参照する GEM300 標準として知られる一連の標準を定義しました。各標準は GEM インターフェイスに追加機能を提供し、GEM E30 標準の機能を基に構築されています。世界中の 300 mm 工場は、ウェーハの移動やプロセス ジョブの実行など、特定の機器の動作を監視するために、基礎となる GEM 標準のデータ収集機能を使用しています。SECS/GEM 標準と追加の GEM300 標準は、完全な工場自動化を実装するために、ほぼすべての 300 mm ウェーハ製造ツールで必須です。この産業は、GEM および関連する SEMI 標準の最も強力な支持者です。

半導体バックエンド

半導体バックエンド業界の多数の装置が GEM 標準を実装しています。テスター固有の装置モデルの SEMI E122 標準や、ハンドラー装置固有の装置モデルのSEMI E123標準などの追加の標準も実装されています。

表面実装技術

チップ配置、はんだペースト、オーブン、検査装置など、表面実装技術業界の多くの機器は GEM 規格をサポートしています。GEM 規格はこれらの機器で 15 年以上使用されていますが、広く使用されている他のインダストリー 4.0 オプションよりも広く使用されているわけではありません。

太陽光発電

2008 年、太陽光発電業界は SECS/GEM 規格の採用を正式に決定し、新しい PV 業界規格として新しい SEMI 規格 (投票 4557) の提案を提出しました。GEM 規格の採用以前から、いくつかの太陽光発電機器サプライヤは既に GEM 規格をサポートしていました。新しい規格は PV02「PV 機器通信インターフェイスのガイド (PVECI)」と呼ばれ、SEMI E37 ( HSMS )、SEMI E5 (SECS-II)、および SEMI E30 (GEM)、SEMI E148 ( NTPベースの時間同期)、および SEMI E10 (機器の信頼性と可用性の定義と測定) 規格のサブセットを利用するフレームワークを定義します。

• SEMI国際規格

• SEMI - 半導体製造装置・材料国際協会