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回転式圧縮ポンプはサイクルで作動します。各サイクルで、圧力を下げるチャンバーと接触する容積が作成されます。ランダムな動きにより、真空チャンバーからの分子がポンプによって作成された容積に入ります。次に、この容積はチャンバーから切り離され、一方向バルブと接触して圧縮されます。容積が十分に圧縮されると、一部の分子がバルブを通過します。
パフォーマンス
ロータリー圧縮ポンプの最大効率は、真空と接触する容積とバルブと接触する最小収縮容積の比です。この比が 1:1000 で、ポンプが大気圧まで排気する場合、達成可能な最高真空は大気圧の 1/1000 です。これは 0.76 Torrまたは 101.3 Paに相当します。この制限により、約 1 Torr よりも低い圧力を達成する場合、ロータリー圧縮ポンプの構築は非常に困難になります。プロセスが簡単なため、ロータリー圧縮ポンプは安価であり、低真空ポンプ、または拡散ポンプやターボ分子ポンプの補助ポンプとして広く使用されています。