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共振器モードでは、プラズマ密度は臨界密度を超えません 。共振器空洞によって閉じ込められた 定在電磁波はプラズマを貫通し、最も高い電界強度の領域でプラズマを維持します。この領域の形状によって、プラズマの空間分布が決まります。共振器モードで励起されたプラズマは、表面波プラズマと比較して、たとえば電気プローブ (ラングミュアプローブ) または導電性サンプルの挿入によるデチューニングに対する耐性が低くなります。そこでは、高いプラズマ密度により、妨害電位がよりよく遮蔽されます。
