プロセス制御監視

集積回路の応用において、プロセス制御モニタリング（PCM）^[1]は、使用されるプロセスに関する詳細な情報を取得するために従う手順です。

PCM は、 CMOSのV _thやバイポーラの V _beなどの技術固有のパラメータを監視できる特殊な構造の設計と製造に関係しています。これらの構造は、製造されたチップとともにウェハ上の特定の場所に配置され、プロセス変動を詳細に調べることができます。