ナノサーモメトリー

ナノ温度測定法は、ナノスケールで動作する非侵襲的な高精度温度計の利用を探求する物理学および工学の一分野である。これらの装置は、従来の方法では効果のない高い空間分解能（1マイクロメートル以下）を備えている。

感度とは、温度計の特性を表すパラメータであり、温度変化1度あたりの温度計出力の相対的な変化に関する情報を提供する。数値的には、校正曲線（温度パラメータQの温度依存性）を用いて計算することができる。

${\displaystyle S_{r}={\frac {dQ/dT}{Q}}.}$

S _{r の値は小さいため、通常は 1.0%· K} ⁻¹のようにパーセンテージで表されます。これは、温度が 1 度変化すると、温度測定パラメータで 1.0% の変化として測定されることを意味します。この量は、温度測定パラメータの変化から温度を測定するために使用する適切な検出器を決定するのに役立ちます。^{[ 1 ]}

接触式温度計がサブミクロン スケールで動作できないというよく知られた限界により、IR サーモグラフィ、熱反射率、光干渉法、ラマン分光法、発光などの非接触式温度測定技術が開発されました。発光ナノ温度測定は、温度と発光特性の関係を利用して、熱画像化対象物から発生する光の空間的およびスペクトル的分析から熱センシングを実現します。^{[ 2 ]}