ナノチャネルガラス材料

ナノチャネルガラス材料は、光リソグラフィーが主なパターン形成技術であるが、ナノ構造を製造するための代替方法である実験的なマスク技術である。 ^[1]

ナノチャネルガラス材料は、多数の平行な中空チャネルを含む複雑なガラス構造です。最も単純な形では、中空チャネルは10 ¹¹チャネル/cm ²という高い充填密度で幾何学的な配列に配置されています。チャネルの寸法は、優れたチャネル均一性を維持しながら、マイクロメートルから数十ナノメートルまで制御できます。チャネルガラスの正確なレプリカは、さまざまな材料から作ることができます。これは、ナノスケールの特徴を持つ同一の構造を大量に作成するための低コストの方法です。^[2]^[3]

特徴

これらの材料は、直径 15 マイクロメートルから 15 ナノメートルの均一なチャネルが高密度に存在します。これらは、少なくとも 300 °C までの温度で使用可能で、最大 1000 °C までの温度に耐えられる剛性構造です。さらに、これらは光学的に透明なフォトニック構造で、高い再現性を備えています。

アプリケーション

これらはクロマトグラフィーカラム、一方向導体、マイクロチャネルプレート、非線形光学デバイスの材料として使用できます。その他の用途としては、イオン注入、光リソグラフィー、反応性イオンエッチングなどの半導体開発用マスクなどがあります。^[2]^[3]^[4]

参照

参考文献

^ Gimzewski , James K; Welland, ME , 編 (1995 年 5 月)。製造と測定の究極的限界。Springer。pp. 13, 14, 15。doi :10.1007/978-94-011-0041-0。ISBN 978-0-7923-3504-7。* 1994 年 4 月 1 日～3 日に英国ケンブリッジで開催された NATO 先端研究ワークショップの議事録シリーズ: NATO 科学シリーズ E: (終了)、第 292 巻
^ ab効率を高めるために光学的に結合されたり、シンチレーター
で内部コーティングされたりした歯科用および医療用の X 線センサーにも使用されています。「ナノチャネルガラス材料」。海軍研究所。技術移転オフィス、コード 1004。2011年 7 月 4 日閲覧。
- この記事には、米国海軍のウェブサイトまたは文書からのパブリックドメインの資料が組み込まれています。
^ ab Tonucci, Ronald J.; Hubler, Graham K. (2007). 「材料特性評価とナノファブリケーション方法 - ナノチャネルガラス材料」。Sibilia, Concita; Wiersma, Diederik S. (編)。AIPカンファレンスプロシーディングス。第 959 巻。pp . 59–71。doi :10.1063/1.2821605。ISBN 978-0-7354-0473-1。
^ Pearson, DH; Tonucci, RJ (1995). 「ナノチャネルガラスレプリカ膜」. Science . 270 (5233): 68–70. Bibcode :1995Sci...270...68P. doi :10.1126/science.270.5233.68. S2CID 220110394.

さらに読む

Bryant, Garnett W.; Liu, Ansheng (1999)。「近接場走査型光学顕微鏡画像化: 理論、シミュレーション、実験」(PDF)。Band, Yehuda B (編) 。SPIE の議事録。光パルスとビーム伝搬。第 3609 巻。pp. 67–75。doi :10.1117/12.351044。2012 年 3月17 日のオリジナル(PDF)からアーカイブ。
Pearson, DH; Tonucci, RJ (1995). 「ナノチャネルガラスレプリカ膜」. Science . 270 (5233): 68. Bibcode :1995Sci...270...68P. doi :10.1126/science.270.5233.68. S2CID 220110394.
米国特許 5,976,444「ナノチャネルガラスレプリカ膜」

[gmz-1] ^ Gimzewski , James K; Welland, ME , 編 (1995 年 5 月)。製造と測定の究極的限界。Springer。pp. 13, 14, 15。doi :10.1007/978-94-011-0041-0。ISBN 978-0-7923-3504-7。* 1994 年 4 月 1 日～3 日に英国ケンブリッジで開催された NATO 先端研究ワークショップの議事録シリーズ: NATO 科学シリーズ E: (終了)、第 292 巻

[nrl-ncm-2] 効率を高めるために光学的に結合されたり、シンチレーターで内部コーティングされたりした歯科用および医療用の X 線センサーにも使用されています。「ナノチャネルガラス材料」。海軍研究所。技術移転オフィス、コード 1004。2011年 7 月 4 日閲覧。
この記事には、米国海軍のウェブサイトまたは文書からのパブリックドメインの資料が組み込まれています。

[3] この記事には、米国海軍のウェブサイトまたは文書からのパブリックドメインの資料が組み込まれています。

[Tonuccia-3] Tonucci, Ronald J.; Hubler, Graham K. (2007). 「材料特性評価とナノファブリケーション方法 - ナノチャネルガラス材料」。Sibilia, Concita; Wiersma, Diederik S. (編)。AIPカンファレンスプロシーディングス。第 959 巻。pp . 59–71。doi :10.1063/1.2821605。ISBN 978-0-7354-0473-1。

[Pearson-4] Pearson, DH; Tonucci, RJ (1995). 「ナノチャネルガラスレプリカ膜」. Science . 270 (5233): 68–70. Bibcode :1995Sci...270...68P. doi :10.1126/science.270.5233.68. S2CID 220110394.