マイクロミラーデバイス

マイクロミラーデバイスは、極小のミラーをベースにしたデバイスです。ミラーはマイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS) であり、ミラーアレイの周囲の 2 つの電極間に電圧を印加することでミラーの状態を制御します。デジタルマイクロミラーデバイスは、ビデオプロジェクターや光学機器、および光の偏向と制御のためのマイクロミラーデバイスで使用されます。

デジタルマイクロミラーデバイス

デジタルマイクロミラーデバイス (DMD) は、1987 年に Texas Instruments によって発明され、ビデオ投影に使用されるDLPテクノロジの中核を成しています。ミラーはマトリックス状に配置されており、「オン」または「オフ」(デジタル) の 2 つの状態があります。オン状態では、プロジェクターの電球からの光がレンズに反射され、ピクセルが画面上で明るく表示されます。オフ状態では、光は別の場所 (通常はヒートシンク)に向けられ、ピクセルが暗く表示されます。色は、さまざまな光源や格子などのさまざまなテクノロジによって生成できます。

光の偏向と制御

ミラーは2つの状態を切り替えるだけでなく、実際には連続的に回転します。これは、入射光の強度と方向を制御するために使用できます。将来のアプリケーションの1つは、2枚の断熱ガラスの間にあるマイクロミラーに基づいて建物内の光を制御することです。入射光の強度と方向はミラーの状態によって決定され、ミラー自体は静電的に制御されます。^[1]

MEMSスキャニングマイクロミラー

MEMSスキャニングマイクロミラーは、中央にミリメートルスケールのミラーを備えたシリコンデバイスで構成されています。ミラーは通常、単軸または二軸で振動して光を投影または捕捉できるようにするフレクシャに接続されています。^[2]

参考文献

^ Viereck, V.、Ackermann, J.、Li, Q.、Jakel, A.、Schmid, J.、Hillmer, H.、「マイクロミラーアレイに基づく建物用サングラス：技術、ネットワークセンサーによる制御、スケーリングの可能性」^{[リンク切れ‍ ]}、ネットワークセンシングシステム、2008年。INSS 2008。第5回国際会議、2008年、135-139ページ
^ Patterson, Pamela R.; Hah, Dooyoung; Fujino, Makoto; Piyawattanametha, Wibool; Wu, Ming C. (2004 年 10 月 25 日). 「走査型マイクロミラー: 概要」(PDF) . 片桐義忠 (編) 著. Optomechatronic Micro/Nano Components, Devices, and Systems . Proceedings of SPIE. Vol. 5604. p. 195. Bibcode :2004SPIE.5604..195P. doi :10.1117/12.582849. S2CID 18046050 . 2022 年12 月 1 日に閲覧。

[1] Viereck, V.、Ackermann, J.、Li, Q.、Jakel, A.、Schmid, J.、Hillmer, H.、「マイクロミラーアレイに基づく建物用サングラス：技術、ネットワークセンサーによる制御、スケーリングの可能性」^{[リンク切れ‍ ]}、ネットワークセンシングシステム、2008年。INSS 2008。第5回国際会議、2008年、135-139ページ

[2] Patterson, Pamela R.; Hah, Dooyoung; Fujino, Makoto; Piyawattanametha, Wibool; Wu, Ming C. (2004 年 10 月 25 日). 「走査型マイクロミラー: 概要」(PDF) . 片桐義忠 (編) 著. Optomechatronic Micro/Nano Components, Devices, and Systems . Proceedings of SPIE. Vol. 5604. p. 195. Bibcode :2004SPIE.5604..195P. doi :10.1117/12.582849. S2CID 18046050 . 2022 年12 月 1 日に閲覧。