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FFKM (ASTM 1418 規格による) (ISO/DIN 1629 規格によるFFPMに相当) は、 FKM フルオロエラストマーよりもさらに多くのフッ素を含むパーフルオロエラストマー化合物です。
高温[1] [2]や化学物質に対する耐性が向上し、酸素プラズマが長時間存在する環境にも耐えます。グレードによっては、最大連続使用温度が327°C(621°F)のものもあります。炭化水素や腐食性の高い液体と接触する用途や、幅広い温度範囲に遭遇する用途で使用されるOリングやガスケットの製造によく使用されます。
真空用途では、非常に低い汚染(ガス放出および粒子放出)と、長時間のアウトベーキングまたは処理時間にわたる高温動作(200~300 °C)が要求され、銅または金属シーリングが不可能または非常に不便/高価な場合は、Kalrez® 9100、[3] SCVBR、[4] Chemraz®、[5]または Perlast [6]などのカスタムメイドのクリーンルーム製造のシーリングを使用できます。製造後、O プラズマ真空洗浄(および/または真空ベーキング)されて、テフロンと同様のガス放出性能を達成しながら、 FKM(Viton )化合物と同様の真空リーク密閉性(透過率)を達成します。この特性の組み合わせにより、FFKM シールは金属シーリングを使用せずにUHV圧力まで十分に到達できます。ただし、標準の FKM O リングよりも大幅に高価です。
参考文献
- ^ https://newdealseals.com/app/uploads/2020/10/NDS-Fluorezi-_v5.pdf [ベア URL PDF ]
- ^ EI DuPont、Kalrez 製品パンフレット。
- ^ 「アーカイブコピー」(PDF) 。 2014年10月4日時点のオリジナル(PDF)からアーカイブ。 2018年6月19日閲覧。
{{cite web}}: CS1 maint: アーカイブされたコピーをタイトルとして (リンク) - ^ 「半導体産業 | Oリング」。
- ^ 「FKM vs FFKM」. Greene Tweed . 2023年1月5日. 2023年6月15日閲覧。
- ^ 「Perlast パーフルオロエラストマー FFKM シールおよび O リング - PTFE のゴム形態」www.prepol.com 。2017年 3 月 2 日閲覧。
