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ハンス・ファイファーは、電子ビームリソグラフィーの開発への貢献で最もよく知られている物理学者です。
人生
ファイファー博士は、1967 年にベルリン工科大学で博士号を取得し、翌年 IBM に入社しました。博士は、そのキャリアの中で世界クラスのチームを結成し、IBM の電子ビーム リソグラフィー システムの複数の世代の開発を主導しました。博士は、業界初の成形ビームリソグラフィー システムを構築したことで知られています。
ファイファー博士は1985 年にIBM フェローに選出されました。
参考文献
- IBM Journal of Research and Development の経歴
- CEI-Europe の経歴