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グロー放電発光分光法（GDOES）は、金属やその他の非金属固体の定量分析のための分光法です。このアイデアは、1968年にドイツのハナウ出身のヴェルナー・グリムによって発表され、特許を取得しました。[ 1 ] [ 2 ]
通常の原子分光法では物質の表面構造を調べることはできますが、層状構造を調べることはできません。一方、GDOESは試料の層を徐々に除去することで、より深い層状構造を明らかにします。
GDOES分光法は元素の定量的および定性的な決定に使用でき、したがって分析化学の手法である。
金属試料は直流プラズマの陰極として用いられる。試料表面はアルゴンイオンによるスパッタリングによって層状に除去される。除去された原子は拡散によってプラズマ中へ移行する。励起波とともに放出される光子は、下流の分光計によって記録され、その後定量化される特徴的な波長を持つ。
高周波交流電圧を用いてプラズマを発生させ、それに対応するグロー放電源を構築する場合、非金属試料の検査も可能となる。
センサーとしては様々な機器が用いられる。光電子増倍管は、センサー対象元素の微量から高濃度まで検出可能である。電荷結合素子（CCD）を用いることで、適切な層厚であれば、元素スペクトル全体を測定することができる。
グロー放電分光法は、鋼材やワニスの特性評価に確立された方法です。最近の進展は、リチウムイオン電池の多孔質電極の分析に関するものです。[ 3 ] [ 4 ]