電極アレイ

電極アレイは、電流または電圧を測定するために使用される電極の構成です。一部の電極アレイは双方向で動作し、電流または電圧の刺激パターンを提供するためにも使用できます。

一般的な配列には次のものがあります:

• シュルンベルジェ（ヴェナー）
• ウェナーアルファ
• ウェナーベータ
• ウェナーガンマ
• ポレポレ
• 双極子-双極子
• 極双極子
• 赤道双極子双極子

バルク材料の抵抗率測定は、電極アレイの頻繁な用途です。図は、これを実現するための可能な方法の 1 つである Wenner アレイを示しています。^[1]電位測定に使用されている電極とは別の電極に電流を注入すると、注入回路の抵抗、特にプローブと表面の間の接触抵抗によって生じる不正確さを排除できるという利点があります。接触抵抗は高くなる可能性があります。材料が均質であると仮定すると、Wenner アレイの抵抗率は次のように表されます。

${\displaystyle \rho =2\pi a{\frac {V}{I}}}$

プローブ間の距離は どこですか。${\displaystyle a}$

電極アレイは、地球物理学の分野で抵抗率を測定するために広く使用されています。^{[1]また、半導体業界ではシリコンウェーハのバルク抵抗率を測定するためにも使用されており、これは、さらなる製造プロセスに進む前にウェーハに適用された}ドーピングの尺度として使用できます。^[2]

• 4端子センシング
• マルチ電極アレイ
• コンクリートの電気抵抗率測定

• Loke, Meng Heng (2004-07-26) [1996]. チュートリアル: 2-D および 3-D 電気画像調査。2007-09-27にオリジナル(PDF)からアーカイブ。2007-06-11に取得。