コスタス・スパノス

コスタス・J・スパノスは、カリフォルニア大学バークレー校の社会利益のための情報技術研究センター（CITRIS）の所長です。また、バークレー教育研究連盟（BEARS）のCEOであり、カリフォルニア大学バークレー校の電気工学およびコンピュータサイエンス（EECS）のアンドリュー・S・グローブ特別教授でもあります。^{[1] [2] [3]}

スパノスは、1980年にアテネ国立工科大学で電気工学の学位を取得し、カーネギーメロン大学で電気およびコンピュータ工学の修士号（1981年）と博士号（1985年）を取得しました。1985年から1988年まで、デジタルイクイップメントコーポレーションの高度コンピュータ支援設計グループに勤務しました。1988年に、カリフォルニア大学バークレー校の電気工学およびコンピュータサイエンス学部の教員になりました。1994年から2000年まで、バークレーマイクロファブリケーション研究所の所長を務めました。2004年から2005年まではエレクトロニクス研究研究所の所長を務め、2004年から2008年までは工学部の研究担当副学部長を務めました。彼は2008年から2010年までEECS部門の副部門長を務め、2010年から2012年まで部門長を務めました。半導体技術とサイバーフィジカルシステムへの幅広い応用を伴うAI、IoT、データ分析、モデリング、機械学習の経験により、300以上の出版物と15件の特許を取得しました。また、半導体製造に関する教科書の共著者でもあります。^{[1] [2] [3] [4] [5]}

• X. Niu、N. Jakatdar、J. Bao、および CJ Spanos、「鏡面分光散乱測定法」、IEEE Trans. Semiconductor Manufacturing、vol. 14、no. 2、pp. 97–111、2001 年 5 月。
• M. Freed、M. Kruger、CJ Spanos、および K. Poolla、「プロセスモデリング、診断、および制御のための自律オンウェーハセンサー」、IEEE Trans. Semiconductor Manufacturing、vol. 14、no. 3、pp. 255–264、2001 年 8 月。
• ML Freed、RS Mundt、CJ Spanos、「プロセス操作、最適化、監視、および制御のためのデータを取得するための方法と装置」、米国特許 6,691,068。2004 年 2 月。
• M. Freed、MVP Kruger、CJ Spanos、および K. Poolla、「プラズマ エッチング プロセス用のウェハー成長熱流束センサー アレイ」、IEEE Trans. Semiconductor Manufacturing、vol. 18、no. 1、pp. 148–162、2005 年 2 月。
• Q. Zhang、P. Friedberg、K. Poolla、および CJ Spanos、「新しいベーク プレート設計による空間 PEB 均一性の強化」、Proc. AEC/APC XVII Symp. 2005、オースティン、テキサス州: AEC/APC Official Proceedings CD-ROM、2005、pp. 1–5。
• K. Poolla および CJ Spanos、「プロセス プロファイルを制御する方法および装置」、米国特許 7,016,754。2006 年 3 月。
• GS May および CJ Spanos、「半導体製造およびプロセス制御の基礎」、Wiley-Interscience、ニュージャージー州ホーボーケン: John Wiley & Sons、Inc./IEEE Press、2006 年。

• IEEE 電子デバイス協会 (EDS) フェロー、2000 年
• 2000年 電気電子学会（IEEE）フェロー
• 2016年バークレー優秀教員メンター賞（FMA）
• 2018年建築と環境最優秀論文賞^[5]