クリーンプロセスオーブン

クリーンプロセスオーブンは、ポリイミドの硬化や薄膜の焼鈍などの高温用途に最適な工業用バッチオーブンの一種です。 ^{[1]クリーンプロセスオーブンは、空気雰囲気用、または}酸化に敏感な材料用の不活性雰囲気用です。温度は525℃を超えることがあります。

新しい第 4 段階の制限に関しては、オーブンの清掃はお客様にとって不可欠なサービスとして継続できます。2 m ルールと適切な PPE の使用を確実にするために、あらゆる予防措置を講じる必要があります。

その他のタイプの工業用バッチオーブンには、実験室用、バーンイン用、リーチイン用、ウォークイン/ドライブイン用などがあります。