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半導体デバイスの製造において、 チャネルストッパーまたはチャネルストップは、イオンの注入または拡散、シリコン酸化物の成長またはパターン化、または半導体材料の他の分離方法によって生成される半導体デバイス内の領域であり、チャネル領域の広がりを制限するか、寄生チャネル(反転層)の形成を防ぐことを主な機能とします。[1]
参考文献
- ^ 「スマート パワー IC」、Bruno Murari、Franco Bertotti、Giovanni A. Vignola、Antonio Andreini 著、2002 年、ISBN 3-540-43238-8、47、47ページ
