カルボシラン

カルボシランは、ケイ素と炭素原子が交互に並んだ構造、すなわち−Si−C−Si−C−結合を特徴とする有機ケイ素化合物である。これらは炭化ケイ素の分子類似体である。この化合物は、炭素とケイ素の両方が四面体構造を形成する傾向を利用している。カルボシランの在庫は膨大である。^[1]

これらの化合物はもともと、メチルシランなどの単純な有機ケイ素前駆体の熱分解生成物として得られました。より効率的な前駆体には、あらかじめ作られた−Si−C−Si−C−サブユニットが含まれています。