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CHMOSは、 HMOSプロセスから開発されたIntel CMOSプロセスの1つを指します。CHMOSは「相補型高性能金属酸化物シリコン」の略です。[1] 1981年に初めて開発されました。[2]
CHMOSは、標準MCS-51マイクロコントローラの新バージョンであるIntel 80C51BHで使用されました。[3]このチップは、 Intel 8086の後のバージョンや、Intel 8088の完全スタティックバージョンである80C88 にも使用されました。Intel 80386は1.5μm CHMOS IIIで製造され、後に1.0μm CHMOS IVで製造されました。
CHMOS IIIは1.5ミクロンのリソグラフィー、pウェル処理、nウェル処理、2層の金属を使用した。[4] [5]
CHMOS III-Eは、12.5MHzのIntel 80C186マイクロプロセッサに使用されました。[6] この技術は、EPROMに1μmプロセスを使用します。 [7]
CHMOS IV（HはHigh Speedの略）は1.0μmリソグラフィーを採用した。Intel 80486の多くのバージョンは1.0μm CHMOS IVで製造された。Intelはこの技術を80C186EBおよび80C188EB組み込みプロセッサに採用している。[8]
CHMOS Vは0.8μmリソグラフィーと3つの金属層を使用し、80386、80486、i860の後のバージョンで使用されました。[9]
参照
参考文献
- ^ 「CHMOSの紹介」Intel . 2023年9月26日閲覧。
- ^ Gnomes, Lee、「Behind The Scenes: The Making Of The 386」、Intel Corporation、Special 32-Bit Issue Solutions、1985 年 11 月/12 月、19 ページ
- ^ Intel CHMOS マイクロコントローラ設計キット
- ^ 二層金属CHMOS IIIテクノロジー
- ^ Rant, Jon、「CHMOS: プロセスと製品のマッチング」、Intel Corporation、ソリューション、1986 年 1 月/2 月、17 ページ
- ^ オームズビー、ジョン、編集者、「新製品フォーカス：コンポーネント：80C186 で制御可能」、インテル コーポレーション、マイクロコンピュータ ソリューション、1987 年 11 月/12 月、13 ページ
- ^ インテル社、「新製品の焦点：コンポーネント：2 メガビットおよび 4 メガビット EPROM は高密度パフォーマンスを実現」、マイクロコンピュータ ソリューション、1989 年 9 月/10 月、14 ページ
- ^ Intel Corporation、「新製品の焦点: コンポーネント: モバイル アプリケーションに適した新しい ASSP」、Microcomputer Solutions、1990 年 9 月/10 月、11 ページ
- ^ チェン、アラン、「50 MHz Intel486 マイクロプロセッサ」、インテル コーポレーション、マイクロコンピュータ ソリューション、1991 年 9 月/10 月、2 ページ