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林本堅（中国語：林本堅、1942年生まれ）は台湾の電気技師である。
教育
1963年に国立台湾大学で電気工学の学位を取得した後、 1970年にオハイオ州立大学で同じ分野の博士号を取得した。[1] [2]
キャリア
1970年に始まったIBMでの在職期間中、 [3]リンは1980年代に実用化された技術である液浸リソグラフィーを初めて提案した。 [4] [5]リンは1992年にIBMを離れ、自身の会社であるLinnovation, Inc.を設立した。彼は2000年にTSMCで働き始めた。 [6]リンは2003年にIEEEフェローに指名され、SPIEからも同等の栄誉を与えられた。翌年、SPIEはリンに最初のフリッツ・ゼルニケ賞を授与した。[7] 2008年、リンは「半導体製造のためのリソグラフィーの開発における技術革新とリーダーシップ」により米国技術アカデミーの会員に選出された。 [8]リンは2009年にIEEEクレド・ブルネッティ賞、 2013年にIEEE西沢潤一メダルをそれぞれ受賞した。 [2] [5] 2014年、林氏は中央研究院の会員に任命された。[1] [7] TSMCを退職後、国立清華大学の教授職に就くよう提案された。[7] [9]
参考文献
- ^ ab “Burn J. Lin”. 中央研究院. 2023年2月13日閲覧。
- ^ ab 「ECE卒業生のバーン・リンがIEEE西沢潤一メダルを受賞」オハイオ州立大学。2013年4月30日。 2018年12月2日閲覧。
- ^ 「Burn Lin: The 2023 SPIE Mozi Award」. spie.org . 2023年5月6日閲覧。
- ^ Burn J. Lin (1987). 「サブハーフマイクロメートル光リソグラフィーの将来」Microelectronic Engineering 6 , 31–51
- ^ ab ハンディ、ジム（2013年6月26日）。「イマージョン・リソグラフィーの父が賞を受賞」フォーブス。 2018年12月2日閲覧。
- ^ 「伝記：バーン・J・リン」。セミコンダクター・リサーチ・コーポレーション。 2018年12月2日閲覧。
- ^ abc 「半導体パイオニアのバーン・リンがNTHUに加わる」国立清華大学。2016年。2018年12月3日時点のオリジナルよりアーカイブ。2018年12月2日閲覧。
- ^ 「Dr. Burn Jeng Lin」。米国国立工学アカデミー。 2018年12月2日閲覧。
- ^ “TSMC Burn Lin Academic Salon”. 2016年. 2018年12月3日時点のオリジナルよりアーカイブ。2018年12月2日閲覧。